Acquisition d'une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection liquide (DLI-CVD)
Buyer: CNRS-Délégation Centre-Est
- Published
- 22 April 2025
- Place of performance
- Besançon, FRC21
- Procedure
- Open procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00259009-2025
- Reference
- 3f448a54-3d75-4ad1-905d-6e9f74ce3e7e
- Official source
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CPV codes
- 42942000Hornos y accesorios
Description
L’Unité Mixte de Recherche CNRS n°6174 (FEMTO-ST) souhaite acquérir une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection de liquide, capable de répondre aux exigences avancée en matière de dépôt de couches minces (oxydes et métaux nobles), de croissance de couches minces d’épaisseur atomique contrôlée et conforme sur des structures 3D (ALD), de procédés CVD/ALD assistés par plasma micro-ondes, ainsi que le traitement thermique rapide, pour des applications scientifiques et de recherche et développement.
Award criteria
- Price — Critère pondéré à hauteur de 40%
- Quality — Critère pondéré à hauteur de 40% subdivisé en 2 sous critères : - Sous critère n°1 relatif aux garanties apportées en matière de configuration matériels (valant 30 points), - Sous critère n°2 relatif…
- Quality — Critère pondéré à hauteur de 10%
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| Annealsys | €126,249 | — |
Official publications
- TED · 00259009-2025 · 22 April 2025
- OJS · 78/2025 · 22 April 2025
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Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is CNRS-Délégation Centre-Est (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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