MemLog GmbH: SEM_FIB_TOF-SIMS Tool
Auftraggeber: MemLog GmbH
- Veröffentlicht
- 14 November 2023
- Angebotsfrist
- 15 Dezember 2023, 23:55
- Erfüllungsort
- DED51
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Lose
- 1
- Unterlagen
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- 73128142ee5947aba78c8f99c0263f13
- Referenz
- ccb8171e-062d-4f00-80e2-ccad2d86477d
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38636100Láseres
Beschreibung
Das SEM_FIB_TOF-SIMS Tool erlaubt alle hergestellten Schichten und Strukturen hinsichtlich ihrer Abmessungen und chemischer Zusammensetzung umfassend zu charakterisieren. Die Methoden Scanning Electron Microscopy (SEM) und Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM ) ermöglichen laterale Auflösungen bis unter 1 nm, so dass selbst die kleinsten Strukturen abgebildet werden können. Die im Gerät vorhandene Focused Ion Beam (FIB)-Technik wird für die Querschnittspräparation eingesetzt, so dass eine 3-dimensionale Strukturabbildung ermöglich wird und Lamellen für STEM präpariert werden können. Die chemische Zusammensetzung der Schichten und Strukturen kann mit den ebenfalls vorhandenen Methoden Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (EDX) und (Time of Flight Secondary Ion Mass Spectroscopy (TOF-SIMS) bestimmt werden. EDX und TOF-SIMS ergänzen sich hervorragend bei der Analytik, wobei EDX vorrangig für die quantitative chemische Analyse gebraucht wird und TOF-SIMS den Nachweis von chemischen Verbindungen bis hin zu äußerst geringen Konzentrationen erlaubt. Das SEM_FIB_TOF-SIMS Tool kann so auch zur Partikel- und physikalischen Fehleranalyse an fertig prozessierten Schichtsystemen und…
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · 73128142ee5947aba78c8f99c0263f13 · 14 November 2023
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Häufig gestellte Fragen
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