ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä.
Auftraggeber: Friedrich-Schiller-Universität Jena
- Veröffentlicht
- 26 Februar 2025
- Geschätzter Auftragswert
- 825.000 €
- Erfüllungsort
- DEG03
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Lose
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- 8ce93cb3cb8c4b53a314bda9aa1c2f53
- Referenz
- 50facca7-c22c-4792-bd51-028f3a5657f8
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Beschreibung
Auftragsgegenstand ist eine ICP-RIE-Plasmaätzanlage für die Strukturierung mikro- und nanooptischer Elemente, konkret proportionales und binäres Plasmaätzen in dielektrische, halbleitende Materialien und Funktionsschichten (Quarzglas /fused silica, Silizium, SiOxNy , Siliziumkarbid, hochbrechende Materialien, wie Ta2O5, Nb2O5, etc.) mittels Fluor-basierter Reaktivgasprozesse auch bei, aber nicht ausschließlich kryogenen Temperaturen um -130°C. Die Anlage mit Beladeschleuse (Loadlock, LL) muss das Prozessieren variabler Substratgrößen mittels Carrier ohne großen Bearbeitungs und Zeitaufwand ermöglichen. Ein schneller, variabler Wechsel der Substratelektrodenkühlung zwischen Kühlung mittels Tiefkältethermostat und Flüssig-Stickstoff ist anzustreben. Zumindest muss aber die Möglichkeit einer nachträglichen Umrüstung auf Flüssigstickstoffkühlung ohne bauliche Änderung an der Substratelektrode gegeben sein. Weiteres siehe Anlage 2.
Zuschlagskriterien
- Qualität — 100
Zuschläge
| Zuschlag an | Betrag | Datum |
|---|---|---|
| SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH | 681.300 € | — |
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · 8ce93cb3cb8c4b53a314bda9aa1c2f53 · 26 Februar 2025
Weitere Ausschreibungen von Friedrich-Schiller-Universität Jena
- Chemisch-mechanische Poliermaschine
- Multifunktionales FPGA-basiertes Steuerungs-, Mess und Signalverarbeitungsinstrument
- Micro-Transfer-Printing-System
- Ultrakurzpulslaser
- managed print service
- Rechenpartition (HPC-Hardware)
- Rechenpartition (HPC-Hardware)
- Storage Erweiterung
- Atlassian Subscription
- Transportwagen und Wannen (MCJ)
Häufig gestellte Fragen
- Wie hoch ist der geschätzte Auftragswert dieser Ausschreibung?
- Der vom Auftraggeber veröffentlichte geschätzte Auftragswert beträgt 825.000 €.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Friedrich-Schiller-Universität Jena (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
- Angebote werden über das offizielle Vergabeportal von Deutschland eingereicht. El Vínculo hilft Ihnen, Ausschreibungen zu finden und ihre Unterlagen zu analysieren; die Angebotsabgabe erfolgt immer bei der offiziellen Quelle.
Erstellen Sie ein kostenloses Konto und erhalten Sie täglich neue Ausschreibungen aus Deutschland, die zu Ihrem Unternehmen passen.