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UHV cluster for Pulsed Laser Deposition and Sputtering of epitaxial quantum materials (PLD-SP-CL)

Auftraggeber: Universität Zürich Assetmanagement

Veröffentlicht
11 Dezember 2024
Angebotsfrist
29 Januar 2025, 12:00
Erfüllungsort
Zürich, CH040
Verfahren
Offenes Verfahren
Bekanntmachungsnummer
7983-01
Referenz
13739739-fdca-4487-9a8d-6945407fe36c
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Das Physik-Institut plant die Beschaffung eines UHV-Clusters für gepulste Laserabscheidung und Sputtern (PLD-SP-CL) von epitaktischen Heterostrukturen mit Monolagen-Präzision. Das System wird die Materialsynthese auf Oxid-Substraten mit einer Fläche von bis zu 10 x 10 mm² ermöglichen. Die PLD- und Sputterkammern müssen Basisdrücke < 10⁻⁷ mbar aufweisen und über eine Schleusenkammer für einen schnellen Probenaustausch zugänglich sein. Die PLD- und Sputterkammern müssen für den Probentransfer im Vakuum miteinander verbunden sein. Die PLD muss über in-situ RHEED zur Wachstumsüberwachung verfügen und Substrat-Temperaturen von mindestens 950°C ermöglichen. Die Sputteranlage ermöglicht das DC-Magnetron-Sputtern bei einer Substrattemperatur von bis zu 700°C. Das System muss mit der Verwendung von flag-style-type- Probenträgern und dem Transfer zu einem extern bereitgestellten Vakuumkoffer für den Transport zu anderen Ex-situ-Charakterisierungsgeräten kompatibel sein. The Physics Institute plans the procurement of a UHV cluster for pulsed laser deposition and sputtering (PLD-SP-CL) of epitaxial heterostructures with monolayer precision. The system will enable materials synthesis on oxide …

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Häufig gestellte Fragen

Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
Die Angebotsfrist endet am 29 Januar 2025, 12:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Universität Zürich Assetmanagement (Schweiz).
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