TMAH EN H3PO4 BATCH TOOL
Aanbestedende dienst: IMEC VZW
- Gepubliceerd
- 28 maart 2024
- Procedure
- Onderhandelingsprocedure
- Percelen
- 1
- Aankondigingsnummer
- 39701cc471af4681b60c293893ca7b7a
- Referentie
- 1d2e0d13-943f-4053-a33a-969f19d3ff1e
- Officiële bron
- Officiële bron
CPV-codes
- 38000000Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen)
Beschrijving
Het geavanceerde fotonica technologieplatform vereist de introductie van een “tank-type” ets-toestel voor 2 soorten belangrijke toepassingen: het nat anisotroop etsen van silicium substraten en het nat strippen van Si3N4 lagen. Een belangrijke module in het fotonica technologieplatform is de vorming van omgekeerde piramides in het silicium (ook gekend als de U-CUT module) via een alkalische oplossing (TMAH), die de prestatie van de thermo-optische component verbetert. Deze ets-stap wordt typisch gecombineerd met een voorbehandeling van HF en veelal gevolgd door een spoel- en een droogstap. Een tweede proces is het verwijderen van Si3N4 met behulp van heet H3PO4. Aangezien dit een zeer langzaam proces is, is een tank-type toestel nodig, gecombineerd met de juiste tanks voor de voor- en nabehandeling, zoals HF, SC1, spoelen en drogen.
Gunningscriteria
- Prijs
- Kwaliteit
Gunningen
| Gegund aan | Bedrag | Datum |
|---|---|---|
| Screen SPE Germany GmbH | 3.913.628 € | — |
Officiële publicaties
- BDA · 39701cc471af4681b60c293893ca7b7a · 28 maart 2024
Andere aanbestedingen van IMEC VZW
- Raamovereenkomst voor levering van verschillende types droge vacuümpompen
- INGENIEURSDIENSTEN GERELATEERD AAN CMOS-WAFERS OP VOLLEDIG UITGEPUT SILICIUM-OP-ISOLATOR
- Gebruik van voertuigtestbanen (proving grounds)
- Opdracht voor levering van een laser vervanging voor een laser ablatie toestel
- Raamovereenkomst voor levering van gaswassers (abatements)
- Raamovereenkomst voor silicon photonics wafer verwerking
- Opdracht voor levering en indienststelling van een Litho DUV Scanner
- Ontwerp en installatie van elektrische voedingen van en naar hoogtechnologische toestellen in een halfgeleider cleanroomomgeving
- Raamovereenkomst voor ontwerp, bouw en inrichten van een cleanroom
- Raamovereenkomst levering EUV-maskers voor gebruik in de halfgeleider industrie
Veelgestelde vragen
- Wie is de aanbestedende dienst van deze aanbesteding?
- De aanbestedende dienst is IMEC VZW (België).
- Hoe kan ik inschrijven op aanbestedingen in België?
- Inschrijvingen worden ingediend via het officiële aanbestedingsplatform in België. El Vínculo helpt u aanbestedingen te vinden en de documenten te analyseren; de indiening gebeurt altijd bij de officiële bron.
Maak een gratis account aan en ontvang elke dag nieuwe aanbestedingen in België die bij uw bedrijf passen.