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Awarded European Union Supplies

Waferprober für das Innovationszentrum Hamburg

Buyer: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Published
22 April 2024
Place of performance
DE600
Procedure
Open procedure
Lots
1
Notice number
00237793-2024
Reference
ff8340c5-7d4e-4da4-8f22-dbe009e923a9
Official source
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CPV codes

Description

Zur Charakterisierung und Beurteilung der hergestellten Strukturen ist eine elektrische Charakterisierung notwendig. Die Messungen sollen auf Waferlevel durchgeführt werden, um eine ausreichende Datenbasis aufzunehmen. Zur elektrischen Kontaktierung und deren Steuerung wird ein Waferprober benötigt, der einen manuell eingeladenen Wafer automatisiert abfährt (halbautomatische Messung). Die Messungen sollen sowohl mittels einzelner Sondenspitzen als auch einer Sondenkarte und DC- wie auch RF-Messungen umfassen. Aufgabe des Waferprobers ist die Positionierung und Kontaktierung der Probe. Die Messung selbst wird durch andere Geräte durchgeführt, die nicht Teil der Ausschreibung sind. Auftragsgegenstand • Anlagen gemäß Spezifikation inkl. Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung • Service und Wartung gemäß Spezifikation

Award criteria

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