UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage
Buyer: Technische Universität Ilmenau
- Published
- 17 September 2024
- Estimated value
- €442,000
- Place of performance
- DEG0F
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00557447-2024
- Reference
- 41010780-0ebd-4b6b-9c94-0996779ccdf6
- Official source
- Official source
CPV codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Description
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein UV-Lithografiesystem mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage mit Autoalignmentfunktion für die maskenbasierte deckungsgenaue Mehrebenenlithografie für 2,5- und 3-dimensionale Mikro- und Nanostrukturen auf Substraten bis 150 mm Durchmesser sowie Bondalignment im Laborbetrieb zu beschaffen.
Award criteria
- Quality — 50
- Price — 50
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| EV Group E.Thallner GmbH | — | — |
Official publications
- TED · 00557447-2024 · 17 September 2024
- OJS · 181/2024 · 17 September 2024
Other tenders from Technische Universität Ilmenau
- Hochautomatisierte Fahrzeugplattform mit integrierter Software
- Forschungsplattform AVF (L4) unter Berücksichtigung der erforderlichen Sensorik und Steuerung sowie der Ertüchti-gung für reale Fahrtests
- HPC Hardware Komponenten
- UV-VIS-Spektrometer
- Installation und Inbetriebnahme eines 3D-Body-Scanner
- Strukturierungs- und Beobachtungssystem auf Basis einer Plasma-Ionensäule und einer Elektronensäule zur Beobachtung, sowie…
- Digitales Speicheroszilloskop mit Messzubehör
- Röntgenphotoelektronenspektroskopie mit XPS-Imaging, ISS, UPS und Clustersputtering
- Hochautomatisierte Fahrzeugplattform mit integrierter Software
- Installation und Inbetriebnahme eines 3D-Body-Scanner
Frequently asked questions
- What is the estimated value of this tender?
- The estimated value published by the buyer is €442,000.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is Technische Universität Ilmenau (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
Get alerts for tenders like this
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.