UHV cluster for Pulsed Laser Deposition and Sputtering of epitaxial quantum materials (PLD-SP-CL)
Buyer: Universität Zürich Assetmanagement
- Published
- 17 April 2025
- Procedure
- Open procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00253626-2025
- Reference
- 13739739-fdca-4487-9a8d-6945407fe36c
- Official source
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CPV codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Description
Das Physik-Institut plant die Beschaffung eines UHV-Clusters für gepulste Laserabscheidung und Sputtern (PLD-SP-CL) von epitaktischen Heterostrukturen mit Monolagen-Präzision. Das System wird die Materialsynthese auf Oxid-Substraten mit einer Fläche von bis zu 10 x 10 mm² ermöglichen. Die PLD- und Sputterkammern müssen Basisdrücke < 10⁻⁷ mbar aufweisen und über eine Schleusenkammer für einen schnellen Probenaustausch zugänglich sein. Die PLD- und Sputterkammern müssen für den Probentransfer im Vakuum miteinander verbunden sein. Die PLD muss über in-situ RHEED zur Wachstumsüberwachung verfügen und Substrat-Temperaturen von mindestens 950°C ermöglichen. Die Sputteranlage ermöglicht das DC-Magnetron-Sputtern bei einer Substrattemperatur von bis zu 700°C. Das System muss mit der Verwendung von flag-style-type- Probenträgern und dem Transfer zu einem extern bereitgestellten Vakuumkoffer für den Transport zu anderen Ex-situ-Charakterisierungsgeräten kompatibel sein. The Physics Institute plans the procurement of a UHV cluster for pulsed laser deposition and sputtering (PLD-SP-CL) of epitaxial heterostructures with monolayer precision. The system will enable materials synthesis on oxide …
Award criteria
- Quality — Zuschlagskriterien
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| DE_Demcon TSST | €993,439 | — |
Official publications
- TED · 00253626-2025 · 17 April 2025
- OJS · 76/2025 · 17 April 2025
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Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
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