System zur Herstellung von thermischen CVD Nitrid-Schichten mittels NH3 und DCS und zur Herstellung von Oxid-Schichten mittels O2 und TEOS
Buyer: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
- Published
- 2 August 2024
- Place of performance
- Frankfurt (Oder), DE403
- Procedure
- Open procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00466793-2024
- Reference
- ef0a20c5-4ca5-4ceb-8026-cf88944a66f7
- Official source
- Official source
CPV codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Description
System zur Herstellung von thermischen CVD Nitrid-Schichten mittels NH3 und DCS und zur Herstellung von Oxid-Schichten mittels O2 und TEOS
Award criteria
- Price
- Quality
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| ASM Europe B.V. | €2,335,634 | — |
Official publications
- TED · 00466793-2024 · 2 August 2024
- OJS · 150/2024 · 2 August 2024
Other tenders from IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
- Austausch Druckerhöhung Prozesskühlwasser im Reinraum
- Projektsteuerung für den Neubau eines Büro- und Laborgebäudes (Leibniz@Lausitz - LLBLG) in Cottbus
- Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
- Thermal oxidation system for the production of wet- and dry-oxides
- Servicevertrag für kältetechnische Anlagen
- Broadband vector network analyzer (VNA) system
- Leistungen der Generalplanung für den Neubau eines Büro- und Laborgebäudes in Cottbus
- Fortsetzung des Projekts zum Aufbau eines Informationssicherheitsmanagementsystems (ISMS)
- Rahmenvereinbarung Planungsleistung für HookUp-Installationen und Umbauten der KG400 ff
- 300 mm Photonics Prober station and Optical test and measurement system
Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
Get alerts for tenders like this
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.