Sputtercluster
Buyer: Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.
- Published
- 30 July 2025
- Place of performance
- Ulm, DE144
- Procedure
- Open procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00499343-2025
- Reference
- 9d7443eb-e120-419a-a128-de9a5389fc58
- Official source
- Official source
CPV codes
- 31000000Máquinas, aparatos, equipo y productos consumibles eléctricos; iluminación
Description
Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung beinhaltet eine Kombi-Gerät mit Magnetron-Sputterquellen und Ionenstrahlätzanlage (ion beam etching IBE). Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Award criteria
- Price — 40% Rabatte auf Herstellerpreise
- Quality — Zusammengesetzt aus: Qualität 40% Service 20%
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| INTLVAC INC | €0 | — |
Official publications
- TED · 00499343-2025 · 30 July 2025
- OJS · 144/2025 · 30 July 2025
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Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V. (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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