Reaktives-Ionenätzen-System
Buyer: Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.
- Published
- 9 September 2024
- Submission deadline
- 17 October 2024, 13:00
- Place of performance
- Stuttgartt, DE111
- Procedure
- Open procedure
- Lots
- 1
- Documents
- 1
- Notice number
- 00538552-2024
- Reference
- 1b313e2c-e5c7-4244-a658-4f4d4097fa06
- Official source
- Official source
CPV codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Description
Für die Prozessierung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung wird ein erprobtes System für das Reaktive Ionen Ätzen (RIE) benötigt. Das RIE-System muss das kontrollierte und reproduzierbare Ätzen der III-V-Verbindungshalbleiter GaAs und InP sowie das Ätzen von dielektrischen Materialien wie zum Beispiel SiO2 und Si3N4 ermöglichen. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Official publications
- TED · 00538552-2024 · 9 September 2024
- OJS · 175/2024 · 9 September 2024
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Frequently asked questions
- What is the deadline to bid for this tender?
- The submission deadline is 17 October 2024, 13:00. Check the official source, as dates can be modified.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V. (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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