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Prestation de jouvence du système de pulvérisation cathodique magnétron de marque EREMAP

Buyer: Université d'Aix-Marseille

Published
30 October 2025
Submission deadline
2 December 2025, 16:00
Estimated value
€205,000
Place of performance
Marseille, FRL04
Procedure
Open procedure
Lots
1
Documents
1
Notice number
00718791-2025
Reference
ce558ee1-a7d0-4792-b09d-499a01a6235a
Official source
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CPV codes

Description

Le présent marché consiste à rénover un bâti de pulvérisation pour le dépôt de couches minces sous vide par pulvérisation cathodique magnétron acheté par Aix-Marseille Université en 2003. L'équipement est composé d'une chambre et son châssis ainsi qu'une tour de commande. Toute la partie de puissance, de contrôle et de supervision se trouve dans la tour de commande. La panoplie de refroidissement et tous les sous-ensembles (dépôt, contrôle de pression, pompage…) sont intégrés à l'ensemble chambre châssis. Les pompes primaires sont indépendantes. La chambre est équipée de 3 sources confocales et permet de réaliser des co-dépôts en utilisant ces sources simultanément. De plus, la rotation du porte substrat assure une bonne homogénéité des dépôts (5% sur un substrat de 100mm). Ce porte substrat est chauffant avec polarisation RF. La description des prestations est décrite dans le CCTP.

Award criteria

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Frequently asked questions

What is the deadline to bid for this tender?
The submission deadline is 2 December 2025, 16:00. Check the official source, as dates can be modified.
What is the estimated value of this tender?
The estimated value published by the buyer is €205,000.
Who is the buyer of this tender?
The contracting authority is Université d'Aix-Marseille (European Union).
How can I bid for public tenders in European Union?
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