Optische Profilometrie IZHH
Buyer: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
- Published
- 22 April 2024
- Place of performance
- Hamburg, DE600
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00237635-2024
- Reference
- 4c3501ed-5ca9-453b-9cbf-3e34ac23a977
- Official source
- Official source
CPV codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
- 38126000Aparatos de observación en superficie
Description
Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Für die Bewertung der Prozesse werden verschiedene Verfahren der Metrologie benötigt. Zur Qualifikation und Kontrolle verschiedener Prozesse (z.B. Beschichtung mit Lack, Abscheidung von Metallen und Dielektrika, Substrat Tiefenätzen, …) soll ein Messgerät für die optische Profilometrie eingesetzt werden. Die optische Profilometrie erlaubt die berührungsfreie Charakterisierung der Probendicke und -topographie und ermöglicht somit unter anderem Rückschlüsse auf die mechanische Verspannung von Schichtstapeln, Tiefen geätzter Ka…
Award criteria
- Quality — Qualität des optischen Profilometriegeräts
- Quality — Service und Lieferung
- Price — Preis der angebotenen Anlage zuzüglich Gesamtpreis für einen maximal viermaligen jährlichen Service/Wartung
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| FRT GmbH | — | — |
Official publications
- TED · 00237635-2024 · 22 April 2024
- OJS · 79/2024 · 22 April 2024
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Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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