Mapovací elipsometr
Buyer: Vysoké učení technické v Brně
- Published
- 23 July 2024
- Submission deadline
- 22 August 2024, 10:30
- Estimated value
- 3,300,000 Kč
- Place of performance
- CZ064
- Procedure
- Open procedure
- Lots
- 1
- Documents
- 1
- Notice number
- 00440509-2024
- Reference
- 8a6124aa-069a-46b3-95c5-029cfbcd82f6
- Official source
- Official source
CPV codes
- 33114000Espectroscopios
- 38623000Filtros ópticos
- 38433300Analizador de espectro
Description
Předmětem této veřejné zakázky je dodávka mapovacího elipsometru se schopností mapování, automatického justování vzorku a jednoduché analýzu pro měření struktur na deponovaných/ leptaných površích s velkým rozlišením. Na vrstvách zvolených materiálů přístroj změří mapu tlouštěk, v případě známého substrátu i tlouštěk nejvyšší vrstvy z multivrstvy. Účelem zařízení je vytvořit podrobnou mapu tlouštěk vrstev v procesu litografie. Důležitá je rychlost mapování (probíhá bod po bodě) a snadnost zpracování výsledků. Vzorek se musí najustovat automaticky v každém měřeném bodě. Zařízení bude umístěno v nanofabrikační laboratoři splňující podmínky čistých prostor ISO5; zařízení musí být plně kompatibilní s těmito podmínkami. Podrobně je předmět veřejné zakázky vymezen technickými, obchodními a jinými smluvními podmínkami, které jsou součástí zadávací dokumentace.
Award criteria
- Price — Nabídkovou cenou se rozumí cena za splnění předmětu veřejné zakázky. Nabídková cena bude v Kč bez DPH a bude uvedena ve formuláři nabídky. Hodnocena bude nabídková cena v Kč bez DPH. Nejnižší…
- Quality — Kritérium se skládá z následujících podkritérií: 2-1 Velikost mikrospotu (maxim. příčný rozměr vzhledem k rovině) 2-2 Opakovatelnost polohy při použití mikrospotu 2-3 Delší pojezd mapovacího…
Official publications
- TED · 00440509-2024 · 23 July 2024
- OJS · 142/2024 · 23 July 2024
Other tenders from Vysoké učení technické v Brně
- Zajištění svozu odpadu pro VUT
- Set laboratorních úloh pro výuku Praktika z fyziky
- Dynamický nákupní systém na dodávky propagačních předmětů a textilií
- Dynamický nákupní systém na dodávky kancelářského ICT vybavení
- Potenciostatová stanice s boosterem – náhradní pořízení po požáru
- ELEKTROCHEMICKÉ TESTOVACÍ CELY – NÁHRADNÍ POŘÍZENÍ PO POŽÁRU
- Elementární analyzátor
- Dodávka nových skupinově řízených výtahů objektu A1 FSI VUT
- Rekonstrukce a dostavba areálu Údolní 53
- Výkon TDS a koordinátora BOZP stavby Rekonstrukce a dostavba areálu Údolní 53
Frequently asked questions
- What is the deadline to bid for this tender?
- The submission deadline is 22 August 2024, 10:30. Check the official source, as dates can be modified.
- What is the estimated value of this tender?
- The estimated value published by the buyer is 3,300,000 Kč.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is Vysoké učení technické v Brně (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.