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Awarded European Union Supplies

Magnetronsputter-System

Buyer: Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.

Published
23 December 2024
Place of performance
Stuttgart, DE111
Procedure
Open procedure
Lots
1
Notice number
00790566-2024
Reference
413434e2-db36-45e8-b4c7-3788a4ebf4f4
Official source
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CPV codes

Description

Für die Prozessierung von Halbleiterlaserdioden im Rahmen der Forschung und Entwicklung muss ein erprobtes System für das Magnetronsputtern (MSP) beschafft werden. Hierbei muss das MSP-System in der Lage sein dünne Metall- und Metalloxidschichten für Materialabhebungsprozesse (Lift-Off) abzuscheiden. Die Schichten müssen sehr homogen und mit einer hohen Reproduzier-barkeit abgeschieden werden können. Das MSP-System muss in der Lage sein, Reinigungs- und Anätzprozesse im Nanometer-Bereich durchführen zu können. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Award criteria

Awards

Awarded toAmountDate
Creavac GmbH

Official publications

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Who is the buyer of this tender?
The contracting authority is Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V. (European Union).
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