Kupfer-Backend-Prozessierung auf vorgefertigten Wafern
Buyer: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
- Published
- 12 December 2023
- Submission deadline
- 11 January 2024, 12:00
- Place of performance
- Frankfurt (Oder), DE403
- Procedure
- Open procedure
- Lots
- 1
- Documents
- 1
- Notice number
- 00751757-2023
- Reference
- b8f6094f-4b6a-48f6-a391-69bbcbd0fb43
- Official source
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CPV codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Description
Die IHP GmbH benötigt im Rahmen eines MPW und Prototyping-Service Nachtbearbeitungsschritte an strukturierten 200mm Wafern. Auf vorstrukturtierten Wafern (bis zum Kontaktmodul) soll ein Backend (Kupfer/Aluminimum Metallisierung) gefertigt werden. Das Backend soll mindestens folgende Spezifikation einhalten: - Mindestens 4 dünne Cu-Leitbahnen im 130nm Technologieniveau. - Mindestens 2 dicke Cu-Leitbahnen mit 3µm Dicke - Eine Top-Metallleitbahn aus Aluminium mit mindestens 2,5µm Dicke. - Des Weiteren soll ein MIM Kondensator mit mindestens 2fF/µm2 Flächendichte im Backend zur Verfügung stehen. - Das Backend soll eine qualifizierte Passivierung enthalten. Es sollen in den nächsten 3 Jahren pro Jahr mindestens 3 Maskensätze und ungefähr 36 Wafer mit einer Losgröße von je mindestens 6 Wafer gefertigt werden. Weiterhin sollen innerhalb von 3 Jahren ca. 60 Setup- oder Shortloop-Wafer gefertigt werden, die nur die oberste Aluminimum-Leitbahn und die Passivierung enthalten.
Award criteria
- Price
Official publications
- TED · 00751757-2023 · 12 December 2023
- OJS · 239/2023 · 12 December 2023
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Frequently asked questions
- What is the deadline to bid for this tender?
- The submission deadline is 11 January 2024, 12:00. Check the official source, as dates can be modified.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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