IZHH Laborausrüstung | Aufdampf-Anlage
Buyer: Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.
- Published
- 27 December 2023
- Submission deadline
- 26 January 2024, 14:00
- Place of performance
- DE600
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Documents
- 1
- Notice number
- 00791931-2023
- Reference
- dc3e2c90-a052-4b4b-be86-0f18fe5c4deb
- Official source
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CPV codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Description
Im Innovationszentrum Hamburg werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Für die Abscheidung dielektrischer Schichten wird eine Anlage zur plasmaunterstützen chemischen Gasphasenabscheidung (plasma-enhanced chemical vapor deposition PECVD) benötigt. Mit diesem Verfahren sollen amorphe SiO2, SiNx, Si und SiC Schichten auf 150 mm Wafern abgeschieden werden.
Official publications
- TED · 00791931-2023 · 27 December 2023
- OJS · 249/2023 · 27 December 2023
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Frequently asked questions
- What is the deadline to bid for this tender?
- The submission deadline is 26 January 2024, 14:00. Check the official source, as dates can be modified.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V. (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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