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Closed European Union Supplies

IZHH Laborausrüstung | Aufdampf-Anlage

Buyer: Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.

Published
27 December 2023
Submission deadline
26 January 2024, 14:00
Place of performance
DE600
Procedure
Negotiated procedure
Lots
1
Documents
1
Notice number
00791931-2023
Reference
dc3e2c90-a052-4b4b-be86-0f18fe5c4deb
Official source
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CPV codes

Description

Im Innovationszentrum Hamburg werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Für die Abscheidung dielektrischer Schichten wird eine Anlage zur plasmaunterstützen chemischen Gasphasenabscheidung (plasma-enhanced chemical vapor deposition PECVD) benötigt. Mit diesem Verfahren sollen amorphe SiO2, SiNx, Si und SiC Schichten auf 150 mm Wafern abgeschieden werden.

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Frequently asked questions

What is the deadline to bid for this tender?
The submission deadline is 26 January 2024, 14:00. Check the official source, as dates can be modified.
Who is the buyer of this tender?
The contracting authority is Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V. (European Union).
How can I bid for public tenders in European Union?
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