Freihändige Vergabe ohne Teilnahmewettbewerb
Buyer: Raith GmbH
- Published
- 22 May 2024
- Place of performance
- DE929
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00300123-2024
- Reference
- 9fb14467-8134-40d6-8ee2-d324112fd25b
- Official source
- Official source
CPV codes
- 38341100Registradores de haces electrónicos
Description
Benötigt wird ein dediziertes Hochleistungs-Elektronenstrahllithografie-System mit passender Ausstattung, um die technologischen Anforderungen, welche aus der Vielzahl an derzeit laufenden und geplanten sowie zukünftigen Projekten resultieren, erfüllen zu können. Folgende Anforderungen ergeben sich an das Gerät: 1. System zur Strukturierung von Elektronenstrahl-empfindlichen Lackschichten. 2. Erzeugung einzelner ‚Features‘ mittels Elektronenstrahllithographie, die Linienbreiten und Abmessungen im Bereich kleiner 8 nm haben (State of the Art). 3. Die Beschleunigungsspannung muss einstellbar bis zu 50 kV und muss ohne Einschränkungen unmittelbar umschaltbar sein auf einen zweiten Arbeitspunkt z.B. 10 kV, um z.B. bestimmte Profile in den belichteten Strukturen zu erzeugen, z.B. Unterschnitte für Liftoff Prozesse. 4. Der Durchsatz der Anlage muss bei einer regelmäßigen Vergleichsstruktur z.B. einem Diffraktionsgitter mit Submikrometerperiode eine Schreibgeschwindigkeit von 0,5 cm²/h besitzen, um die benötigten Probengrößen in angemessener Zeit herstellen zu können. 5. Benötigt wird eine Flexibilität in der Wahl der Belichtungsmodi für jedes einzelne Designelement z.B. grob und fein oh…
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| Vergabekammer Niedersachsen beim Nds. Ministerium für Wirtschaft, Arbei und Verkehr | €1,499,999 | — |
Official publications
- TED · 00300123-2024 · 22 May 2024
- OJS · 98/2024 · 22 May 2024
Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is Raith GmbH (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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