Fourniture et installation d'un équipement de dépôt ALD matériaux lithiés en 200mm

Published

13 January 2026

Place of performance

Grenoble, FRK24

Procedure

neg-w-call

Lots

1

Notice number

00020756-2026

Reference

9692c781-62c1-4dcd-bf62-7db4668877dd

Official source

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CPV codes

• 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos

Description

Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt ALD. L’équipement est destiné à produire des couches de haute qualité d'électrolyte et d'électrode métallique à base de lithium sur des substrats de 200 mm sur des structures pouvant avoir un rapport d’aspect élevé (jusqu'à 200:1) Le marché comporte les options* avec chiffrage obligatoire suivantes : - Option n°1 : La fourniture et l’installation d’une seconde chambre ALD thermique conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 9) - Option n°2 : La fourniture d’une microbalance à cristal de quartz conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 10) Le marché comporte les options* avec chiffrage facultatif suivantes : - Option n°3 : La fourniture d’une station buffer conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 9) - Option n°4 : La fourniture d’un module d’alignement conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 9) - Option n°5 : La fourniture d’une colonne d’absorption recommandée pour les gaz d’échappement de la pompe conformément …

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Who is the buyer of this tender?

The contracting authority is CEA/Grenoble (European Union).