Fourniture d'un scanner de lithographie optique 248 nm
Buyer: CEA/Grenoble
- Published
- 7 November 2024
- Estimated value
- €1
- Place of performance
- Grenoble, FRK24
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Documents
- 1
- Notice number
- 00677241-2024
- Reference
- b51c5b52-41e6-49d2-9e37-03b8204b2518
- Official source
- Official source
CPV codes
- 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Description
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d'un scanner de lithographie optique 248 nm. Cet équipement est destiné à traiter des plaques 300mm pour le développement des technologies avancées FDSOI 10 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux métal, via et implant. Le marché envisagé comprend les options suivantes : - Options avec chiffrage obligatoire : . Option 1 : Possibilité d’utiliser au moins 6 éléments optiques diffractifs . Option 2 : Capacité à traiter des plaques déformées avec un bow compris entre -500 µm et 350 µm . Option 3 : Capacité à traiter des plaques d'épaisseur comprise entre 500 µm et 1 mm - Options avec chiffrage facultatif : . Option 4 : Capacité à manipuler les plaques transparentes . Option 5 : Capacité à corriger finement la topographie des plaques . Option 6 :Transformateur électrique . Option 7 : Formation maintenance niveau 1 . Option 8 : Formation maintenance avancée . Option 9 : Deuxième année de garantie . Option 10 : Transport, assurance comprise, DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Award criteria
- Price — Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés (Translation for information : Price is not the only award…
Official publications
- TED · 00677241-2024 · 7 November 2024
- OJS · 217/2024 · 7 November 2024
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Frequently asked questions
- What is the estimated value of this tender?
- The estimated value published by the buyer is €1.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is CEA/Grenoble (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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