Fourniture d'un implanteur ionique R&D en 100, 150 et 200mm

Published

22 May 2026

Place of performance

Grenoble, FRK24

Procedure

neg-w-call

Lots

1

Notice number

00353588-2026

Reference

9a5f42c1-afae-4297-a357-a6c3ec718ea8

Official source

Official source

CPV codes

• 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos

Description

Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un implanteur ionique. L'équipement doit avoir un haut niveau de flexibilité pour permettre le traitement d'une grande diversité de plaques (taille, nature des matériaux) et de conditions d’utilisation (espèces, énergie, dose, température pendant l'implantation). Le marché comporte : • Des options avec chiffrage facultatif : o Option n°1 : Proposition d’une nouvelle technique permettant de créer un plasma à partir d’une espèce solide conformément à l’article 3.1.3 du cahier des charges o Option n°2 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges o Option n°3 : La formation de maintenance avancée pour 2 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges • Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°4 : La formation de maintenance premier niveau pour 3 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges

Awards

Frequently asked questions

Who is the buyer of this tender?

The contracting authority is CEA/Grenoble (European Union).