Fourniture d’un équipement de type « wet bench »
Buyer: CEA/Grenoble
- Published
- 26 July 2024
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Documents
- 1
- Notice number
- 00449845-2024
- Reference
- 0f0cca39-c35c-472d-9e5a-d9b140208c62
- Official source
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CPV codes
- 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Description
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de type wet bench pour sa salle-blanche. L’équipement vise des nettoyages FEOL pour une large gamme d’applications dans les semi-conducteurs. Cet équipement devra réaliser des séquences de nettoyages chimiques standards basées sur du SC1, SC2, acide fluorhydrique (HF), ozone et du séchage à base d’isopropanol (IPA). Les dilutions et mélanges chimiques doivent pourvoir être flexibles et préparés d’une manière automatisée. L’équipement doit inclure un cabinet chimique chauffé dédié aux acides et bases, où le remplissage est manuel. Cet équipement doit pouvoir traiter une large gammes de plaques : des susbtrats de différents diamètres, épaisseurs et matériaux.
Award criteria
- Price — Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés (Translation for information : Price is not the only award…
Official publications
- TED · 00449845-2024 · 26 July 2024
- OJS · 145/2024 · 26 July 2024
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Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is CEA/Grenoble (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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