Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés
Buyer: CEA/Grenoble
- Published
- 8 August 2024
- Submission deadline
- 23 September 2024, 16:00
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Documents
- 1
- Notice number
- 00479572-2024
- Reference
- 1a17cd92-f9ea-42c9-85a3-84ed4f646766
- Official source
- Official source
CPV codes
- 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Description
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des applications sans contamination métallique pour être utilisé en début de chaine de fabrication des puces. Les matériaux concernés par ce type de polissage sont l’oxyde de silicium, le nitrure et une nouvelle génération de matériaux. Cet équipement sera installé dans la salle blanche du CEA. Il est destiné à traiter des plaques 300mm pour le développement des technologies avancées FDSOI 7 nm et au-delà. Les options suivantes* sont susceptibles d’être affermies dès la notification du marché : • Options* avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : Capacité de purge azote des Foups (page 16 du cahier des charges) o Option n°2 : Formation maintenance niveau 1 pour deux personnes o Option n°3 : Formation maintenance avancée pour deux personnes • Options* avec chiffrage facultatif : o Option n°4 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement o Option n°5 : Transformateur électrique o Option n°6 : Deuxième année de garantie o Option n°7 : Le transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Inc…
Award criteria
- Price — Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
Official publications
- TED · 00479572-2024 · 8 August 2024
- OJS · 154/2024 · 8 August 2024
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Frequently asked questions
- What is the deadline to bid for this tender?
- The submission deadline is 23 September 2024, 16:00. Check the official source, as dates can be modified.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is CEA/Grenoble (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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