Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés
Buyer: CEA/Grenoble
- Published
- 18 April 2024
- Submission deadline
- 20 May 2024, 16:00
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Documents
- 1
- Notice number
- 00230472-2024
- Reference
- b0ab48f6-9bdf-4bf6-b4fc-4dad2388a60b
- Official source
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CPV codes
- 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Description
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des applications FEOL et MEOL sans contamination métallique croisée. L’équipement doit être capable d'effectuer un traitement parallèle de lots de plaquettes présentant différents niveaux de contamination. Les matériaux concernés par ce type de polissage sont le silicium, l’oxyde de silicium, le nitrure, le tungstène et d’autres matériaux métalliques. Cet équipement sera installé dans la salle blanche du CEA. Il est destiné à traiter des plaques 200mm. Il doit pouvoir intégrer un module de métrologie. Le présent marché comporte les options obligatoires suivantes : - Option 1 : Formation maintenance niveau 1, page 36 du cahier des charges, - Option 2 : Formation maintenance avancée, page 36 du cahier des charges. Le présent marché comporte les options facultatives suivantes : - Option 3 : Fourniture d’échangeurs de chaleur et système de refroidissement, page 16 du cahier des charges, - Option 4 : Fourniture d’un transformateur électrique, page 23 du cahier des charges, - Option 5 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les…
Award criteria
- Price — Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
Official publications
- TED · 00230472-2024 · 18 April 2024
- OJS · 77/2024 · 18 April 2024
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Frequently asked questions
- What is the deadline to bid for this tender?
- The submission deadline is 20 May 2024, 16:00. Check the official source, as dates can be modified.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is CEA/Grenoble (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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