Fourniture d'un équipement de polissage bevel et bord de plaque 200 mm pour le CEA de Grenoble

Published

4 June 2024

Place of performance

Grenoble, FRK24

Procedure

Negotiated procedure

Lots

1

Documents

1

Notice number

00328333-2024

Reference

2db77365-b682-4058-97df-b40a7ec5c613

Official source

Official source

CPV codes

• 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos

Description

Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI de Grenoble souhaite acquérir un équipement de polissage bevel et bord de plaque 200mm. Cet équipement devra fonctionner en mode « dry-in / dry-out » et comporter au moins trois stations : - Une station de polissage bevel et bord de plaque - Une station de polissage du notch - Une station de nettoyage avec au moins un module à brosses et un sécheur à IPA. Les stations de polissage bevel / bord de plaque et notch devront avoir la capacité à éliminer, de manière non-sélective, toute couche de matériau, quelle que soit son épaisseur et sa nature, recouvrant le substrat initial en une seule passe.

Award criteria

• Price — Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.

Official publications

• TED · 00328333-2024 · 4 June 2024
• OJS · 107/2024 · 4 June 2024

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Frequently asked questions

Who is the buyer of this tender?

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