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Fourniture d’un équipement de collage direct automatique pour les plaques de 4, 6 et 8 pouces avec une chambre UV/O3, une chambre d'activation du plasma, une chambre de nettoyage et une chambre de collage infrarouge pour le CEA de GRENOBLE

Buyer: CEA/Grenoble

Published
12 December 2024
Estimated value
€1
Place of performance
Grenoble, FRK24
Procedure
Negotiated procedure
Lots
1
Documents
1
Notice number
00758968-2024
Reference
81ecb7e6-f8a1-4df1-a338-73006b376332
Official source
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CPV codes

Description

Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de collage direct automatique pour les plaques de 4, 6 et 8 pouces avec une chambre UV/O3, une chambre d'activation du plasma, une chambre de nettoyage et une chambre de collage infrarouge. Le marché envisagé comprend les options suivantes : > Options à chiffrage obligatoire : - Option n°1 : Compatibilité 200 mm (8’’) (telle que précisée au §-3.1.1 du cahier des charges) - Option n°2 : Générateur O3 (telle que précisée au §-3.1.2 du cahier des charges) - Option n°3 : Formation maintenance niveau 1 (telle que précisée au §-9 du cahier des charges) - Option n° 4 : Formation maintenance avancée (telle que précisée au §-9 du cahier des charges) > Option à chiffrage facultatif : - Option n°5 : Heat Exchangers / Chiller (telle que précisée au §-3.2.6 du cahier des charges)

Award criteria

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The estimated value published by the buyer is €1.
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