Fourniture d’un équipement 300 mm de dépôts métalliques pour les applications BEOL
Buyer: CEA/Grenoble
- Published
- 8 August 2024
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Documents
- 1
- Notice number
- 00479381-2024
- Reference
- 5485b0d9-6e61-4522-aff4-0eab39708919
- Official source
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CPV codes
- 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Description
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement 300 mm de dépôts métalliques pour les applications BEOL. Il est destiné à réaliser des étapes de pre-clean (retrait CuOx), dépôts barrier TaN, liner Co et Cu seed pour les interconnexions cuivre avancées, telles que requises pour les nœuds technologiques FDSOI 7 nm et au-delà. L'équipement devra également avoir la capacité à réaliser des dépôts sélectif de capping Co pour limiter la diffusion du cuivre. Le présent marché comporte : • Une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture d’une chambre PVD pour le dépôt ALCu (Procédé 6). Le présent marché comporte également les options obligatoires suivantes : • Option n°1 : Fourniture d’une chambre ALD pour dépôt TaN (Procédé 3) doté d’un plasma permettant de retirer le dépôt SAM, • Option n°2 : Fourniture d’une chambre ALD pour dépôt TaN (Procédé 3), • Option n°3 : Fourniture d’une chambre CVD pour procédé SAM (self-assembled monolayer) (Procédé 5), • Option n°4 : Formation de maintenance de premier niveau, page 32 du cahier des charges, • Option n°5 : Formation de maintenance avancée, page 32 du cahier des charges. Le présent marché comporte les options facultatives suivan…
Award criteria
- Price — Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
Official publications
- TED · 00479381-2024 · 8 August 2024
- OJS · 154/2024 · 8 August 2024
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Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is CEA/Grenoble (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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