Fourniture d’un diffractomètre rayon X haute résolution
Buyer: CEA/Grenoble
- Published
- 8 August 2024
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Documents
- 1
- Notice number
- 00479249-2024
- Reference
- 7a39b53b-7b98-485c-ba31-a11032344f65
- Official source
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CPV codes
- 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Description
Dans le cadre de ses activités de R&D pour le FDSOI à 10 nm et en deçà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de diffraction entièrement automatisé, compatible salle blanche, avec une source haute brillance de type anode tournante pour des mesures plein champ rapides, et une source microfaisceau pour les mesures sur plaque produit. Les applications visées sont diverses : composants CMOS avancés, composants de puissances ou LED à base de matériaux III-V, dispositifs 3D, photovoltaïque, mémoires, composants RF, etc. L’équipement sera capable d’effectuer, de manière automatisé, des mesures rapides, fiables et précises de diffraction standard (XRD, couches polycristallines), des mesures de diffraction haute résolution (HRXRD et micro-HRXRD, couches monocristallines), et des mesures de réflectométrie X (XRR) sur couches minces. Les mesures seront effectuées en salle blanche (ISO 4) sur des plaquettes pour la microélectronique de diamètre 200 mm et 300 mm, comprenant des couches unitaires ou multicouches constituées d’une vaste diversité de matériaux, aussi bien en pleine plaque ou à motif après lithographie (mesure avec microfaisceau, avec reconnaissance de motif). L’équipement de…
Award criteria
- Price — Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés (Translation for information : Price is not the only award…
Official publications
- TED · 00479249-2024 · 8 August 2024
- OJS · 154/2024 · 8 August 2024
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Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is CEA/Grenoble (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
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