FKF 2024-15 Maskenbelichtungsgerät
Buyer: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
- Published
- 20 August 2024
- Place of performance
- DE111
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00498974-2024
- Reference
- 3d9040db-e87a-4786-bf3b-6e09d49473ef
- Official source
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CPV codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Description
Für die zentrale Wissenschaftliche Einrichtung Nanostrukturlabor am Max-Planck-Institut für Festkörperforschung soll für Optische Lithographie ein neues Maskenbelichtungsgerät ('Mask-Aligner') beschafft werden. Dieser muss die folgenden Eigenschaften aufzuweisen: UV-LEDs als Lichtquelle, wobei zur Belichtung der Wellenlängenbereich (i-, h- und g-Linie) wählbar und frei kombinierbar sein muss. Die Lichtintensität ist konstant zu halten. Diverse Maskengrößen sind verwendbar: 3", 4", 6". Die Belichtung von Substraten unterschiedlicher Formate muss möglich sein: von 4mm-auf-4mm Chip bis 6"-Wafer. Es ist das Ausrichten auf Markierungen auf der Substratober- als auch Substratunterseite möglich. Es stehen verschiedene Kontaktmodi zur Verfügung: 'Soft'-, 'Hard'-, 'Vacuum'- und 'Proximity'-Kontakt. Der Keilfehlerausgleich geschieht automatisch. Der Abstand zwischen Maske und Substrat ist ggf. einstellbar. Eine einfache 'Flood Exposure' muss möglich sein. Für dieses Basisgerät soll die Option der Erweiterung für 'Wafer Bonding' und 'Nano-imprint'-Lithographie bestehen.
Award criteria
- Price — Der Zuschlag wird nach § 127 GWB und § 58 Abs. 1 VgV auf das jeweils unter Berücksichtigung aller Umstände wirtschaftlichste Angebot erteilt. Maßgeblich für die Beurteilung der Wirtschaftlichkeit ist…
Official publications
- TED · 00498974-2024 · 20 August 2024
- OJS · 161/2024 · 20 August 2024
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Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. (European Union).
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