Elektroniikan puhdastilan prosessikemikaalit

Published

28 February 2024

Submission deadline

28 March 2024

Procedure

open

Lots

4

Notice number

00123181-2024

Reference

1776dd8b-2390-4f4f-987b-330cf0245fd9

Official source

Official source

CPV codes

• 24000000Productos químicos

Description

Hankinnan kohteena ovat mikroelektroniikan komponenttien valmistuksessa käytettävät prosessikemikaalit. Kemikaalien tulee olla laadultaan soveltuvia alle 0.5 μm (viivanleveys) rakenteiden valmistamiseen. Hankinnan kohteena olevia kemikaaleja käytetään VTT:n puhdastilassa Espoossa (Micronova). ISO 4 luokan tutkimus- ja kehityskäyttöön tarkoitetussa puhdastilassa valmistetaan pii-, lasi- ja ohutkalvomikrojärjestelmiä. VTT:llä on noin 50 tutkimusprojektia samanaikaisesti käynnissä puhdastilassa. Lisäksi puhdastilan laitteita, prosesseja ja kemikaaleja käyttää noin 20 ulkopuolista yritystä. Hankinta on jaettu neljään osakokonaisuuteen: • Osakokonaisuus 1: Hapot, emäkset ja liuottimet • Osakokonaisuus 2.1: AZ-kehitteet • Osakokonaisuus 2.2: AZ-fotoresistit • Osakokonaisuus 3: Seokset ja erikoistuotteet Tarjoaja voi jättää tarjouksen yhteen tai useampaan hankinnan osakokonaisuuteen. Hankinnan kohde on kuvattu tarkemmin tarjouspyyntöasiakirjoissa.

Frequently asked questions

What is the deadline to bid for this tender?

The submission deadline is 28 March 2024. Check the official source, as dates can be modified.

Who is the buyer of this tender?

The contracting authority is TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY (European Union).