Elektronenstrahlverdampfer-System
Buyer: Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.
- Published
- 16 December 2024
- Place of performance
- Stuttgart, DE111
- Procedure
- Open procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00767611-2024
- Reference
- e2f025e0-0c6f-4af4-b956-a869587e6817
- Official source
- Official source
CPV codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Description
Für die Prozessierung von Halbleiterlaserdioden im Rahmen der Forschung und Entwicklung muss ein erprobtes System für das Elektronenstrahlverdampfen (ESV) beschafft werden. Hierbei muss das ESV-System in der Lage sein dünne Metallschichten für Materialabhebungsprozesse (Lift-Off) abzuscheiden. Das ESV-System muss in der Lage sein, entsprechenden Schichten im einer Auf-dampfrate im Bereich von Angström pro Sekunde abzuscheiden. Ebenso müssen die entspre-chenden Schichten sehr homogen mit einer hohen Reproduzierbarkeit abgeschieden werden kön-nen. Das ESV-System muss in der Lage sein, Reinigungs- und Anätzprozesse im Nanometer-Bereich durchführen zu können. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Award criteria
- Price
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| Creavac GmbH | — | — |
Official publications
- TED · 00767611-2024 · 16 December 2024
- OJS · 244/2024 · 16 December 2024
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Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V. (European Union).
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