El Vínculo El Vínculo.
Awarded European Union SuppliesEU-funded

Dodávka systému magnetronového naprašování

Buyer: Vysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava

Published
18 December 2024
Estimated value
9,300,000 Kč
Place of performance
CZ080
Procedure
Open procedure
Lots
1
Notice number
00777543-2024
Reference
8d30fdc2-4ab2-4a79-a6d0-83bbfd95a57e
Official source
Official source

CPV codes

Description

Předmětem plnění veřejné zakázky je dodávka systému magnetronového naprašování, vč. software a příslušenství. Systém musí být navržen pro magnetronové naprašování (i reaktivní) tenkých filmů (s tloušťkami min ~ 5nm) kovů, kovových slitin, oxidů kovů, nitridů kovů, vícevrstevnatých systémů, na substráty s velikostí v průměru minimálně 4" s prostorovou homogenitou naprašovaných vrstev +/- 2,5% nebo menší. Systém a jeho hardwarové komponenty musí být kompatibilní s teplotou ohřívače až do 1000 °C a teplotou vzorku/substrátu až do 800 °C. Velikost systému v konfiguraci bez chilleru musí být kompatibilní s velikostí laboratoře a tedy s max. rozměry 3 m x 1.7 m. Systém musí obsahovat softwarové ovládání založený na technologii tango, pro nastavení, monitorování a kontrolu depozičních podmínek nanášecího procesu a jeho plně automatický chod depozičního procesu. Software musí dále umožňoval plně automatickou úpravu a běh podmínek nanášení a také uložení a protokolování systémových a procesních parametrů. Systém magnetronového naprašování musí být kompletní se všemi senzory, vakuovými a hardwarovými komponenty, softwarem, adaptéry a konektory. Blíže viz zadávací podmínky.

Award criteria

Awards

Awarded toAmountDate
Měřící technika Morava s.r.o. 9,000,000 Kč

Official publications

Other tenders from Vysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava

Frequently asked questions

What is the estimated value of this tender?
The estimated value published by the buyer is 9,300,000 Kč.
Who is the buyer of this tender?
The contracting authority is Vysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava (European Union).
How can I bid for public tenders in European Union?
Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
Get alerts for tenders like this
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.

Start for free

Data collected from official public procurement sources. Amounts as published by the buyer.