Dodávka systému magnetronového naprašování
Buyer: Vysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava
- Published
- 5 August 2024
- Submission deadline
- 17 September 2024, 10:00
- Estimated value
- 9,300,000 Kč
- Place of performance
- CZ080
- Procedure
- Open procedure
- Lots
- 1
- Documents
- 1
- Notice number
- 00470255-2024
- Reference
- 8d30fdc2-4ab2-4a79-a6d0-83bbfd95a57e
- Official source
- Official source
CPV codes
- 31700000Material electrónico, electromecánico y electrotécnico
- 38341300Instrumentos de medida de magnitudes eléctricas
- 31100000Motores, generadores y transformadores eléctricos
- 31711421Magnetrones
Description
Předmětem plnění veřejné zakázky je dodávka systému magnetronového naprašování, vč. software a příslušenství. Systém musí být navržen pro magnetronové naprašování (i reaktivní) tenkých filmů (s tloušťkami min ~ 5nm) kovů, kovových slitin, oxidů kovů, nitridů kovů, vícevrstevnatých systémů, na substráty s velikostí v průměru minimálně 4" s prostorovou homogenitou naprašovaných vrstev +/- 2,5% nebo menší. Systém a jeho hardwarové komponenty musí být kompatibilní s teplotou ohřívače až do 1000 °C a teplotou vzorku/substrátu až do 800 °C. Velikost systému v konfiguraci bez chilleru musí být kompatibilní s velikostí laboratoře a tedy s max. rozměry 3 m x 1.7 m. Systém musí obsahovat softwarové ovládání založený na technologii tango, pro nastavení, monitorování a kontrolu depozičních podmínek nanášecího procesu a jeho plně automatický chod depozičního procesu. Software musí dále umožňoval plně automatickou úpravu a běh podmínek nanášení a také uložení a protokolování systémových a procesních parametrů. Systém magnetronového naprašování musí být kompletní se všemi senzory, vakuovými a hardwarovými komponenty, softwarem, adaptéry a konektory. Blíže viz zadávací podmínky.
Award criteria
- Price — Při hodnocení nabídkové ceny bude rozhodná její celková výše v Kč bez DPH, uvedená v návrhu smlouvy (v čl. V. odst. 1).
Official publications
- TED · 00470255-2024 · 5 August 2024
- OJS · 151/2024 · 5 August 2024
Other tenders from Vysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava
- Elektrochemické cely a příslušenství pro testování bateriových materiálů
- HPCQC-AI výpočetní cluster
- Vysokoteplotní laboratorní pec pro sintraci technických keramických materiálů
- Výpočetní stanice pro numerické simulace spalovacích procesů a přenosu tepla (opakované vyhlášení)
- Dodávka laboratorního nábytku (místnosti J227, J228 a J321)
- Dodávka technických a kalibračních plynů pro CEET od 2026
- FTIR spektrometr pro kontinuální analýzu spalin
- FTIR spektrometr
- Dodávka tryskového mlýnu
- Čítač částic
Frequently asked questions
- What is the deadline to bid for this tender?
- The submission deadline is 17 September 2024, 10:00. Check the official source, as dates can be modified.
- What is the estimated value of this tender?
- The estimated value published by the buyer is 9,300,000 Kč.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is Vysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.