Direktschreiblithographie-System
Buyer: Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.
- Published
- 11 December 2024
- Place of performance
- Stuttgart, DE111
- Procedure
- Open procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00755844-2024
- Reference
- 7b653808-95c8-4275-a62b-50d2a4bb88fb
- Official source
- Official source
CPV codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Description
Eine Direktschreiblithographie wird für die Herstellung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung benötigt. Der Betrieb der Direktschreiblithographie muss in einem Reinraum (ISO6) möglich sein und es darf durch den Betrieb keine nennenswerte Partikelemission ausgehen. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Award criteria
- Price
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH | — | — |
Official publications
- TED · 00755844-2024 · 11 December 2024
- OJS · 241/2024 · 11 December 2024
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Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V. (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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