Beschaffung eines Upgrades von ELPHY Quantum auf ELPHY Plus
Buyer: Universität Siegen
- Published
- 28 February 2025
- Place of performance
- Siegen, DEA5A
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00133735-2025
- Reference
- 3e75be4e-974e-4f37-8dd2-2666f793165d
- Official source
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CPV codes
- 42990000Máquinas diversas para usos especiales
Description
Das am Mikro- und Nanoanalytikzentrum (MNaF) betriebene Lithographie-Anbau-Kit ELPHY Quantum von Raith wird derzeit im Helios NanoLab 600 SEM/FIB-System der Universität Siegen eingesetzt und dient der Strukturierung von elektronenstrahlempfindlichem Lack im nanoskaligen Bereich. Es ist vorgesehen, dieses Kit für den Betrieb an einem der neuen, von der DFG-geförderten SEM/FIB-Systeme von Thermo Fisher, welche in dem neuen Forschungsgebäude INCYTE der Universität Siegen betrieben werden sollen, auf ELPHY Plus aufzurüsten. Die Elektronenstrahl-Lithografie-Funktionalität in Form von ELPHY Plus steht den universitären Forschungszentren, dem Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), dem Center for Micro- and Nanochemistry and Engineering (Cµ), dem Center for Innovative Materials (Cm), dem DFG-geförderten Mikro- und Nanoanalytikzentrum (MNaF und der biomedizinischen Sensorforschung, wie auch externen Kooperationspartnern zur Verfügung.
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| RAITH GmbH | €1 | — |
Official publications
- TED · 00133735-2025 · 28 February 2025
- OJS · 42/2025 · 28 February 2025
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Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is Universität Siegen (European Union).
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