Beschaffung eines Rasterelektronenmikroskops (REM)
Buyer: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. vertreten durch das Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts Staudtstraße 2 91058 Erlangen
- Published
- 22 December 2023
- Place of performance
- DE252
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00784346-2023
- Reference
- dd147d1f-7d53-4b1c-a571-2c3646b1c3aa
- Official source
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CPV codes
- 38511100Microscopios electrónicos de barrido
Description
Es wird ein Rasterelektronenmikroskop (REM) für hochauflösende Niederspannungsaufnahmen (Auflösung deutlich kleiner als 1nm bei allen Landeenergien von 1keV bis 30keV) und hochauflösende Niedervakuumaufnahmen (Auflösung mind. 1nm bei 15keV im Niedervakuumbereich) von hauptsächlich nichtleitenden, nanostrukturierten Proben beschafft. Typische Proben sind Lichtwellenleiterstrukturen aus verschiedensten Materialien auf Glas, photonische Kristallfasern aus Glas, Lithographiemasken, Partikel/Nanopartikel/Quantendots aus verschiedensten Materialien auf Deckgläsern und empfindliche Materialien wie Belichtungsparameterteststrukturen aus Polymer auf Glas oder organische Kristalle auf Glas. Die Probenkammer soll weitgehend feldfrei sein um auch magnetische Partikel in dem Gerät ohne extra Einbettung untersuchen zu können. Eine minimale Elektronenlandeenergie von <0.1keV und einstellbare, kleine Elektronenströme sollen zur Inspektion von elektrisch nichtleitenden, empfindlichen Materialien vorhanden sein. Die Bildaufnahme soll im gesamten Elektronenlandeenergiebereich und im Niedervakuum mit gutem Signal zu Rauschen Verhältnis möglich sein. Es sollen zwei Säulen-basierte Elektronendetektoren …
Award criteria
- Price
Official publications
- TED · 00784346-2023 · 22 December 2023
- OJS · 247/2023 · 22 December 2023
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