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The estimated value published by the buyer is €530,000.

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The contracting authority is Centre National de la Recherche Scientifique (European Union).

Closed European Union Supplies

Acquisition, livraison et mise en service d’un bâti de gravure plasma au sein de l’Institut des NanoSciences de Paris (INSP)

Buyer: Centre National de la Recherche Scientifique

Open in El Vínculo

Published: 28 July 2025
Submission deadline: 15 September 2025, 12:00
Estimated value: €530,000
Place of performance: Paris, FR101
Procedure: Open procedure
Lots: 1
Documents: 1
Notice number: 00491843-2025
Reference: f0dae220-13d4-424c-87c8-3c65d41fa4b5
Official source: Official source

CPV codes

38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)

Description

L’Institut des NanoSciences de Paris (INSP) est une unité mixte de recherche du CNRS et de Sorbonne Université. Dans le cadre de ses activités de micro-nanofabrication de dispositifs et de composants, l’INSP souhaite acquérir un bâti de gravure plasma. Les principaux besoins auxquels devra répondre l’équipement sont les suivants: •Gravure de silicium de plusieurs dizaines de micromètres •Gravure profonde de Silicium de plus de 100 µm •Gravure d’oxydes (SiO2, TiO2) plusieurs micromètres •Gravure de métaux <100 nm L’équipement attendu est une machine de gravure par plasma de type RIE-ICP (Reactive Ion Etching – Inductively Coupled Plasma) constitué de deux électrodes qui génèrent un plasma uniforme de haute densité à partir d’une source inductive, et d’une cathode indépendante pour polariser les substrats. L’équipement devra comporter un module de gravure profonde du silicium et un système de détection de fin d’attaque par interférométrie laser. Le présent marché comprend à minima : • L’acquisition • Performances techniques et fonctionnelles minimales attendues de l’instrument • La livraison assurée par le titulaire • L’installation et la mise en service • La formation aux utilis…

Award criteria

Quality — Critère n°1 : Valeur technique et ses 5 sous-critères Sous-critère n° 1 : Garanties apportées en termes de qualité des matériaux et des éléments constituants l’équipement RIE-ICP 15…
Cost — Prix
Quality — Délai d'exécution
Quality — Critère n°4 : Démarche environnementale et ses 2 sous-critères : Sous-critère 1: Puissance électrique consommée (en kW ou kVA) lorsque l’équipement est maintenu sous vide 2 points, Sous critère 2 :…

Official publications

TED · 00491843-2025 · 28 July 2025
OJS · 142/2025 · 28 July 2025

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Frequently asked questions

What is the deadline to bid for this tender?: The submission deadline is 15 September 2025, 12:00. Check the official source, as dates can be modified.
What is the estimated value of this tender?: The estimated value published by the buyer is €530,000.
Who is the buyer of this tender?: The contracting authority is Centre National de la Recherche Scientifique (European Union).
How can I bid for public tenders in European Union?: Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.

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