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Closed European Union SuppliesFramework agreement

Accord-cadre de fourniture de groupe de pompage et de système d’abattement des effluents intégré

Buyer: CEA/Grenoble

Published
12 April 2024
Submission deadline
21 May 2024, 12:00
Procedure
Open procedure
Lots
1
Documents
1
Notice number
00216037-2024
Reference
092ad837-c9f6-466d-9910-ff8ba4bd9e86
Official source
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CPV codes

Description

Le CEA de Grenoble souhaite mettre en place un accord-cadre à marchés subséquents multi-attributaires permettant la fourniture de groupe de pompage et de système d’abattement des effluents intégré. Ces périphériques pourront être rattachés à l'un de ces ateliers : dépôt (PVD process, PVD pre-clean...), gravure (oxide Etch, Silicon Etch...), epitaxie, implanteur, traitement thermiques, recuit rapide... Les pompes devront être de type sèche et disposer d'un mode idle. Les pompes raccordées au système d’abattement pourront être amenées à être rattachées à l’une de ces 3 types de chambres : - Medium : gaz corrosifs - Harsh : gaz corrosifs, poudres, gaz explosifs Le système d'abattement devra disposer d'un mode idle.

Award criteria

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Frequently asked questions

What is the deadline to bid for this tender?
The submission deadline is 21 May 2024, 12:00. Check the official source, as dates can be modified.
Who is the buyer of this tender?
The contracting authority is CEA/Grenoble (European Union).
How can I bid for public tenders in European Union?
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