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Abluftaufbereitungsanlage IZHH

Buyer: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Published
27 February 2024
Place of performance
Hamburg, DE600
Procedure
neg-w-call
Lots
1
Notice number
00120155-2024
Reference
f99c5956-5137-4da4-b7b2-978ec7dcd8f8
Official source
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CPV codes

Description

Im Rahmen der Quantencomputing Initiative des DLR werden im Innovationszentrum Hamburg in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung soll eine Lösung zur Aufbereitung der Abluft verschiedener Fertigungsprozesse beschafft werden. Dies betrifft unter anderem die Fertigungsanlagen für die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD), das reaktive Ionenätzen (RIE) sowie das Gasphasenätzen. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung und Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme/Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation. Darüber hinaus werden Service- und Wartungsleistungen abgefragt. Weitergehende Informationen sind der den Vergabeunterlagen beigefügten Leistungsbeschreibung zu entnehmen.

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Who is the buyer of this tender?
The contracting authority is Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (European Union).
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