202501100951 Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés
Buyer: CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
- Published
- 28 April 2025
- Estimated value
- €750,000
- Place of performance
- Villeneuve d'Ascq Cedex, FRE11
- Procedure
- Open procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00273583-2025
- Reference
- 5c187b65-85a4-4984-a680-53a1c594f757
- Official source
- Official source
CPV codes
- 22520000Equipo de grabado en seco
Description
L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service de deux dispositifs de gravure ionique réactive par plasma du type RIE-CCP utilisant des gaz fluorés ou dioxygène. L’un des deux réacteurs sera dédié à la gravure exclusive des matériaux SixNy, SiO2 et Si avec un masque de résine (appelé RIE_1), le deuxième sera ouvert à la gravure de mêmes matériaux et aussi de tous les matériaux pouvant être gravés par un plasma obtenu à partir de gaz fluorés ou dioxygène (appelé RIE_2).
Award criteria
- Price — Prix
- Quality — Valeur technique
- Quality — Délais, installation et formation
- Quality — Garantie, SAV et procédés
- Quality — Valeur environnementale
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| PTS | €593,000 | — |
Official publications
- TED · 00273583-2025 · 28 April 2025
- OJS · 82/2025 · 28 April 2025
Other tenders from CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
- Générateur de formes d’ondes arbitraires 2 voies 10GHz / 25GSa/s
- Acquisition d'un système de récupération et de compression d'hélium gaz et d'un liquéfacteur d'hélium
- Robotisation et aménagement de deux véhicules de série, de type Renault Scenic E-Tech à conduite à droite (RHD)
- Acquisition d'un diffractomètre aux électrons (3DED)
- Acquisition d'une source de désorption-ionisation laser avec système de post-ionisation laser et visualisation microscopique des…
- Acquisition d’une microsonde électronique à haute résolution spatiale avec analyses d’éléments du lithium à l’uranium
- Acquisition, livraison, installation et mise en service d’une machine de micro-usinage laser
- Instruments de mesures en gamme millimétrique ( 4 lots)
- Acquisition, livraison et installation d’un évaporateur par canon à électrons avec SAS de chargement
- Acquisition de deux stations de mesures sous pointes mmW et large bande 250GHz
Frequently asked questions
- What is the estimated value of this tender?
- The estimated value published by the buyer is €750,000.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
Get alerts for tenders like this
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.