202501100951 Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés

Published

14 February 2025

Submission deadline

18 March 2025, 14:00

Estimated value

€750,000

Place of performance

Villeneuve d'Ascq Cedex, FRE11

Procedure

Open procedure

Lots

1

Documents

1

Notice number

00101185-2025

Reference

5c187b65-85a4-4984-a680-53a1c594f757

Official source

Official source

CPV codes

• 22520000Equipo de grabado en seco

Description

L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service de deux dispositifs de gravure ionique réactive par plasma du type RIE-CCP utilisant des gaz fluorés ou dioxygène. L’un des deux réacteurs sera dédié à la gravure exclusive des matériaux SixNy, SiO2 et Si avec un masque de résine (appelé RIE_1), le deuxième sera ouvert à la gravure de mêmes matériaux et aussi de tous les matériaux pouvant être gravés par un plasma obtenu à partir de gaz fluorés ou dioxygène (appelé RIE_2).

Award criteria

• Price — Prix
• Quality — Valeur technique
• Quality — Délais, installation et formation
• Quality — Garantie, SAV et procédés
• Quality — Valeur environnementale

Official publications

• TED · 00101185-2025 · 14 February 2025
• OJS · 32/2025 · 14 February 2025

Other tenders from CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France

• Générateur de formes d’ondes arbitraires 2 voies 10GHz / 25GSa/s · 26 August 2026
• Acquisition d'un système de récupération et de compression d'hélium gaz et d'un liquéfacteur d'hélium · 18 August 2026
• Robotisation et aménagement de deux véhicules de série, de type Renault Scenic E-Tech à conduite à droite (RHD) · 11 August 2026
• Acquisition d'un diffractomètre aux électrons (3DED) · 11 August 2026
• Acquisition d'une source de désorption-ionisation laser avec système de post-ionisation laser et visualisation microscopique des… · 3 August 2026
• Acquisition d’une microsonde électronique à haute résolution spatiale avec analyses d’éléments du lithium à l’uranium · 24 July 2026
• Acquisition, livraison, installation et mise en service d’une machine de micro-usinage laser · 29 June 2026
• Instruments de mesures en gamme millimétrique ( 4 lots) · 18 June 2026
• Acquisition, livraison et installation d’un évaporateur par canon à électrons avec SAS de chargement · 9 June 2026
• Acquisition de deux stations de mesures sous pointes mmW et large bande 250GHz · 20 May 2026

Frequently asked questions

What is the deadline to bid for this tender?

The submission deadline is 18 March 2025, 14:00. Check the official source, as dates can be modified.

What is the estimated value of this tender?

The estimated value published by the buyer is €750,000.

Who is the buyer of this tender?

The contracting authority is CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France (European Union).

How can I bid for public tenders in European Union?

Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.