Rasterelektronenmikroskop
Auftraggeber: Friedrich-Schiller-Universität Jena
- Veröffentlicht
- 3 Oktober 2023
- Geschätzter Auftragswert
- 630.000 €
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Lose
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- 40881701-148d-4382-8459-8da639b9d079-1
- Referenz
- 618da4f4-305e-4747-b6d6-02ca06eece64
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Beschreibung
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben. Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen: - Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen - CD-Messung - Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen - Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen - Geometrische Analyse von Nanopartikeln - Abbildung von Baulementen (Chip)
Zuschlagskriterien
- Qualität — 50
- Preis — 50
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · 40881701-148d-4382-8459-8da639b9d079-1 · 3 Oktober 2023
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Häufig gestellte Fragen
- Wie hoch ist der geschätzte Auftragswert dieser Ausschreibung?
- Der vom Auftraggeber veröffentlichte geschätzte Auftragswert beträgt 630.000 €.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Friedrich-Schiller-Universität Jena (Deutschland).
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