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Lieferung einer Sputteranlage (Kathodenzerstäubungs-Anlage)

Auftraggeber: Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Veröffentlicht
9 Januar 2025
Erfüllungsort
DE911
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
378205e75c8f444db6c751365713f77e
Referenz
e2d00064-484e-413f-8ec5-d93ecfa9d142
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) benötigt zur Herstellung von supraleitenden Dünnschichten aus Niob (Nb), Niob-Titan (NbTi), Niob-Nitrid (NbN) und Niob-Titan-Nitrid (NbTiN) mittels reaktiven Sputterns eine Kathodenzerstäubungs-Anlage (Sputteranlage) mit einer integrierten Vakuumschleuse und mit allen für den Sputterprozess erforderlichen Komponenten, gem. Leistungsbeschreibung.

Zuschlagskriterien

Zuschläge

Zuschlag anBetragDatum
BESTEC GmbH

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